半導体用語集
エアシャワ
英語表記：air shower
作業員または衣服に付着している粒子状物質を強制的に吹き飛ばし除去するための装置で、浮遊微粒子管理区域の入り口部分に設置するもの。この装置はスリットまたは多数の空気吹出ノズルおよび排気口を備えており、スリットやノズルの向きは自由に変えられる。一般にクリーンルームの入口に設けられ、エアロック機能をもつ。
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