半導体用語集
防塵マット、粘着マット
英語表記：cohesive mat, dust-protection mat
防塵靴の底に付着している微粒子を除去するために使用される粘着性の高いマット。微粒子が溜まりやすい場所の付近やエアシャワーの入り口に置かれることが多い。汚れた場合はそのシートを剥がして、新しい粘着面を使用する。
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