半導体用語集
プロセス インデュースト パーティクル カウンタ
英語表記：process induced particle counter
厳格な試料漏洩防止機構を有し、試料流路内壁の残留不純物除去を十分に行った光散乱式粒子計数器。半導体素子製造に用いる原料ガスや、CVD、イオン注入装置などの減圧槽中浮遊微粒子数を監視する。
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