半導体用語集
ソースキャビネット
英語表記：source cabinet
酸化装置、熱拡散装置、CVD装置などにおいて、酸化膜形成、不純物拡散、薄膜形成の反応に必要なソース（主にガス）を供給するためのシステムを収納したキャビネット。ガス配管、バルブ、フローメータ、マスフローコントローラ、バブラなどが収納される。
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