半導体用語集
PID温度制御
英語表記：PID temperature control
代表的なプロセス温度制御方式の1つで、P（比例）、I（積分）、D（微分）の3つの基本演算を用いて目標値と現在値との差を制御量（電力値）に変換するもの。PID各パラメータ変更に対する制御特性の変化を比較的容易に予測できる。
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