半導体用語集
エッジリンス エッジクリーン
英語表記： edge bead remover E.B.R.
ウェーハ表面端部が各工程で位置決め部などと接触する場合、レジストの欠けなどにより発塵する。これを防止するためウェーハ表面部のレジストを溶剤により取り除くこと。通常レジスト塗布時に行われる。
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