半導体用語集
クリーンチューブシステム CTS
英語表記：clean tube system CTS
ウェーハに対する汚染防止のため、製造装置間、製造装置とクリーンストッカ間などの搬送工程を囲む高清浄空間をチューブで形成するシステム。局所清浄化による省エネルギーなどの利点を有する。
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