半導体用語集
Sirtl エッチング
英語表記：Sirtle etching
シリコン単結晶の欠陥を光学的に評価する方法の一種。組成はHF:CrO3=1:1の薬液で、面方位〈111〉の結晶欠陥検査に適した液組成。
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