半導体用語集
エネルギー コンタミネーション
英語表記：energy contamination
イオンエネルギーが目的とするエネルギー値以外のイオンの総称。イオンと残留気体（中性粒子）の衝突による荷電交換によってできるイオンや、分子イオンの解離によってできるイオンが、目的としないエネルギーとなってウェーハに注入されたもの。
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