半導体用語集
ろ材
英語表記：filter media
空気中に浮遊する粒子をろ過作用によって捕集する材料。主な材料としてガラス繊維、合成繊維、金属繊維などがあり、またメンブレンフィルタも実用となっている。これらはろ布状、網状などにして使用する。
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