半導体用語集
ボロンレスフィルタ
英語表記：boron free filter
素材にボロンを含有しないフィルタ。通常のホウ珪酸ガラス繊維をろ材とする、HEPA、ULPAフィルタは、ボロンを徐々に放出し、トランジスタ特性バラツキの一因となる。そこでボロンを含まない、PTEEメンブレン、石英ガラス繊維などをろ材としたフィルタが開発されている。また広義にはホウ珪酸ガラス繊維にコーティングし、ボロン放出を抑制したフィルタも、ボロンレスと称している。
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