半導体用語集
LTV
英語表記：local thickness variation
リソグラフィーにおいてステッパーによる露光時の焦点深度から定義された半導体ウェーハの平面度の規格。ステッパでは単位露光領域をLSIのチップサイズの広さを基に設定している。LTVはこの単位露光領域を15mm×15mmもしくは20mm×20mmに設定し、ウェーハ上のその領域においてウェーハチャック面を基準としたウェーハ厚さの最大値と最小値の差で指す。一方、ウェーハ前面にわたっての厚さの最大値と最小値の差はNTV（non-linear thickness variation）と呼ばれる。
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