半導体用語集
サイトTIR SBIR SFLR SF3R SFQR
英語表記：site total indicator reading site back ideal range (local thickness variation) site front least-squares global range site front three points range site front least-squares range
吸着固定などにより、ウェーハ裏面を平面に矯正した状態にて、各サイトごとに指定された基準面での各サイト表面高さの最大値と最小値の差。
SEMIでは基準面ごとのサイトTIRが以下の様に定義される。
裏面基準面にてSBIR（LTVと同定義となる）。
グローバルベストフィット基準面にてSFLR。
グローバル3点基準面にてSF3R。
サイトベストフィット基準面にてSFQR。
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