半導体用語集
転位密度 EPD
英語表記：dislocation density etch pit density
結晶中の転位量。転位量を表すには2通りの方法がある。(1)単位面積当たり何本の転位線が突き抜けているかで示す方法。一般には単位面積当り何本の転位線がつき抜けているかで示す方法。一般には単位面積当りの（転位による）エッチピット数で表わし、これをEPDとよんでいる。単位は個/cm2であらわす。(2)単位体積当りの転位線の長さを合計したもので、単位はcm/cm3で表わす。転位は試料中で不均一分布をしているので、一般にある面の数ヶ所で測定し、その平均値を用いる。
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