半導体用語集
ショットローテーション
英語表記：shot rotation
レチクルが回転して装着された時に起こる、露光されたパターンに生じる回転量。
関連製品
「ショットローテーション」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「ショットローテーション」に関連する用語が存在しません。
「ショットローテーション」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
