半導体用語集
逆浸透装置 RO装置
英語表記：reverse osmosis unit
逆浸透膜を用いて水中のイオン、有機物、微粒子、生菌などを除去する装置。水質によって異なるがイオン交換装置の前段もしくは後段に設置し、処理水水質の安定化に極めて重要な役割を果たす。保安フィルタ、高圧ポンプ、逆浸透膜、圧力容器などで構成される。
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