半導体用語集
誘引漏洩 誘引リーク
英語表記：induction leakage
構造物の接続部や配管とパネルの接続部などを通じて誘引された空気により作業用空間に微小粒子が侵入する現象。吹出面でのデッドスペース、一方向流域との間などで発生しやすく、渦を伴う場合が多い。
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