半導体用語集
無塵衣 クリーンルーム用衣服 防塵衣
英語表記：clean garments dust free garments
低発塵の布地を使い、作業員の皮膚や下着などからの発塵を透過させにくい衣服。オーバーオール形とセパレート形がある。帽子あるいは服と一体になったものもある。
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