半導体用語集
光像法
英語表記：light figure method
エッチングした面、またはラッピングした面に光のスポットを当て、その反射光をスクリーンに写してみると、結晶軸に対応した一組のスポットの数と配列によって、どの軸に近い面がでているかを測定する方法。さらに、そのスポットの面影が対象となるように結晶を回転することにより、どれだけ面が傾いているかがわかる。
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