半導体用語集
電源変動
英語表記：power supply fluctuation
描画精度を悪化させる要因の一つで、特に時間に対して変動する電源の出力電圧や出力電流が問題である。電子ビーム描画装置においては、多数の電源を用いてレンズや偏向器などで電磁界を発生させ、電子ビームの引き出しや、電子ビームの収束や偏向などを行っている。したがって、電源の不安定性は電子ビームの制御性の低下や偏向感度の変動に繋がり、描画精度を悪化させることになる。これらの電源に要求される安定性は、ウェハやマスクの描画時間との兼ね合いで決定される。
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