半導体用語集

加速管

英語表記:acceleration tube

加速方式により分析系の前又は後に設けられるイオンにエネルギーを与える管。絶縁物と電極から構成され、通常多段構造となっている。各電極には、加速電圧を分割して印加し、電極間に形成される電場により、イオンを加速する。


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