半導体用語集
1探針法
英語表記：one-point probe method
1点の金属電極プローブと均一な抵抗率を持つ半導体試料が、半径αの円で平面的に接触し、他方の試料裏面の電極の抵抗が無視できるような場合の広がり抵抗（RS）と抵抗率（ρ）の関係は次式で表せる。
Rs=ρ/4a
2点法の広がり抵抗（Rs）はおのおののプローブの接触点近傍の広がり抵抗Rs₁とRs₂の和で、次式で表せる。
Rs=Rs₁+Rs₂=ρ/2a
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