半導体用語集
手押し台車 PGV MGV
英語表記：pushcart personnel guided manual guided veicleh
作業者の力で走行させる台車。最近では、台車上に移載装置やHEPAユニットを搭載したものがある。ウェーハの大口径化に伴い、今後さらに需要が高まると考えられる。
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