半導体用語集

バンクコントローラ

英語表記:bank controller

拡散及びCVD(円筒反応管式)の各反応チューブを一括して制御するためのコントローラ。拡散及びCVD以外のプロセス装置の場合は同一装置を一括制御するコントローラをブロック(群)コントローラと称している。


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