半導体用語集
バンクコントローラ
英語表記：bank controller
拡散及びCVD（円筒反応管式）の各反応チューブを一括して制御するためのコントローラ。拡散及びCVD以外のプロセス装置の場合は同一装置を一括制御するコントローラをブロック（群）コントローラと称している。
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