半導体用語集
ヘリコン波エッチング装置
英語表記：helicon etching system
磁場に沿って伝播する電磁波の一種であるヘリコン波の無衝突減衰（ランダウ減衰）により生成される低圧力高密度プラズマを用いたプラズマエッチング装置。
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