半導体用語集
一過式冷却水設備
英語表記：one pass condensing water system one pass cooling water system
市水、工業用水などを冷却水として半導体製造装置などの冷却すべき対象物に送り、冷却後は他の用途水として利用するかまたは排水するかで、冷却水としては循環再利用しない送水方式の冷却水設備。多量の水を必要とするため、特殊な場合以外には用いられない。
関連製品
「一過式冷却水設備」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「一過式冷却水設備」に関連する用語が存在しません。
「一過式冷却水設備」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
