半導体用語集
アライメント
英語表記：alignment
製造装置においてウェーハの位置合わせ、作業対象の位置合わせ、方向合わせを意味する。リソグラフィにおいては以下のような操作となる。
ウェハ上に形成されたパターンの上にさらにパターンを重ね合わせて転写する場合に、すでに形成されているウェハ上のパターンとこれから転写するマスク上のパターンとの位置合わせ操作を行うこと、またはその工程を指す。重ね合わせ時の精度を重ね合わせ精度、そのすれ量を重ね合わせ誤差と呼ぶ。位置合わせはウェハステージやレチクルステージの位置や方向を調整することによって行う。一般には目標となるパターン(アライメントマーク、重ね合わせマーク)をウェハ上に作成しておき、その位置を計測し、その位置をレチクルの位置に合わせるようにステージを移動する。位置決めは、画像処理の発達によってはば自動的に行える。マークには十字マーク、回折格子、フレネルゾーンプレートなどがあり、各種のアライメント方式と組み合わされて用いられる。アライメントの方式には様々な種類があり、大きくは露光光軸とアライメント光の軸が一致するスルーザレンズ方式と、両者の軸が一致しないオファクシス方式とに大別される。スルーザレンズ方式は重ね合わせ精度が高く、一方、オフアクシス方式は装置が簡単でスループットを高めることができる。
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