半導体用語集
アフタコロージョン
英語表記：after-corrosion
エッチング時にウェーハに付着した塩素（Cl2）や反応生成物が大気中の水分と反応し、これによってエッチング後にAl配線などが腐食される現象。
関連製品
「アフタコロージョン」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「アフタコロージョン」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
