半導体用語集
ブラシスクラバ スクラブ洗浄機
英語表記：brush scrubber
回転するブラシに洗浄液をかけながら、洗浄面に押し当て移動させて、表面付着物をこすり洗浄する装置。ブラシの形状には円筒型とカップ型、またブラシ材には植毛とスポンジとがある。レジスト塗布前の除塵に使われるほか、最近ウェーハの裏面汚れをとるのに積極的に採用される。片面のみと両面同時処理する装置とがある。
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