半導体用語集
ゼータ電位
英語表記：zeta potential
固体と液体とが互いに触れ合い相対運動を行ったとき、その固体と液体の界面に生ずる電位差をゼータ電位という。固体と液体との界面に生じた電気二重層のうち、固体に近い部分には吸着されている固定層があり、固体表面と反対電荷のイオン等が吸着している。固体と液体が相対運動するとき、この固定層は固体と一緒に吸着しながら動くので、実際に相対運動を支配する電位差は、固定相表面の外側と液体内部との差の電位差であり、この電位差をゼータ電位と呼ぶ。スラリー中では水に分散している超微粒子がそれぞれのゼータ電位をもち、スラリーの保存安定性の期間や、他の溶媒を混合した時の超微粒子の凝集性に影響を与える。よって研磨に使ったスラリーをウェーハから洗浄する時もゼータ電位を配慮した薬剤の選択が大切である。
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