半導体用語集
コンタクトプロキシミティ露光装置
英語表記：contact proximity
一台の装置で選択的にマスクとウェーハを密着又は近接させて露光できる露光装置。密着させて露光する装置をコンタクト露光装置、近接させて露光する装置をプロキシミティ露光装置とそれぞれ区別して呼ぶ場合もある。
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