半導体用語集
集積化部品
英語表記：integrated components
ガス供給系を構成する機能の異なる複数の部品を一つのブロックに集積化したもの。例えば、レギュレータにストップバルブとフィルタを組み込んだものなどがあり、従来の部品間を配管で接続するシステムと比較し、非常にコンパクトになる。
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