半導体用語集
Seccoエッチング
英語表記：Secco etching
シリコン単結晶の欠陥を光学的に評価する方法の一種。組成がHF:HNO3：CH3COOH=1:3:10の薬液で、面方位〈100〉の結晶に適した液組成。
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