半導体用語集
オーバドライブ
英語表記：over drive
ウェハのチップ内のパッドにプローブ針を接触させてから，針が食い込む方向に送り込む量のことをオーバドライブ量という。
これはウェハを測定する場合，チップのパッドに針を当てる際，チップのパッドと針との間の接触抵抗を低くかつ安定させるため，針を食い込ませることが必要になることによる。現在のプローバでは，その量をコンタクトポイント（プロービングカードのプローブ針とウェハ上のパッド（電極）が高さ方向で接触する位置））からのチャック（測定ウェハを載せる台）のz up量（µm）で表わし，以前のものはヘッドプレートの下降量で表わしていた。オーバドライブ量は，針の支持点から針先までの長さ，針先の形状，針のテンション，チップのパッドのアルミの膜厚などによって影響されるので，最適な量は使用者で決定する。
アルミパッドの場合，パッド表面に酸化I膜がついているため，針の食い込みにより，その酸化膜を取り除く必要がある。このためプローブ針の先にはアルミくずが付着する。さらに，付着したアルミも酸化するため，必ず針の洗浄などを行う必要がある。
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