半導体用語集
垂直プロービングカード
英語表記：vertical probing card
カンチレバータイプのプロービングカードが，プローブ針を横方向から出しているのに対し，垂直型のプローブカードは，垂直方向にプローブ針を立てる方式である。したがって，チップのパッドの配置が周辺であることにこだわらず，エリアアレイ（マトリックス状）や，多マルチ構造になっても，原理的には，針立てがしやすいと見られている。
その構造は，基板を2枚組み合わせ、中で針が座屈する方式や、針を一定方向に湾曲させる方式，あるいはマイクロスプリングを用いる方式などがある。また，針が垂直方向からパッドに当たるため，ずり量が少なく，針跡は小さい。ただ，その分コンタクトの安定性が取りにくくなる可能性もある。方式によっては，オーバドライブ量を増やしても，比例して荷重が増えないものもある。
特徴としては，パッド配置に左右されないというメリットがあるが，修理の容易性や，価格面が課題といえる。
また，近年，プロービングカードの針の当たる対象が，従来のアルミ主体のパッドだけでなく，ハンダバンプのエリアアレイ型という用途もあるが，そのパッド配置に対する柔軟性から，検討されているケースもみられる。
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