半導体用語集
レジスト膜厚分布 レジスト膜均一性
英語表記：resist thickness uniformity
ウェーハ上に塗布したレジスト膜の厚さのばらつき。ウエーハ上の極く外周部（例えば外周の2～5mm等）を除く多数個所の膜厚を測定し平均値、偏差などから次のように表す。
ウェーハ均一性；ウェーハ間比較、ロット内均一性；同一ロット内比較、ロット間均一性；異なったロット間比較などに使用している。
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