半導体用語集
閉管法
英語表記：closed-tube method
半導体基板と拡散源を石英管の中に真空封しするか、または、必要に応じた気体を適切な圧力で封入し、石英管全体を加熱する不純物拡散方法のこと。拡散源としては、気体、液体、固体のどれもが使用可能である。また、拡散不純物をドープしたシリコンを粉末にしたものを拡散源とすることもある。この方法は、石英管の封じ切りのため、および、試料を取り出す際に管を壊さなければならないために手間とコストがかかり、現在ではほとんど用いられていない。
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