半導体用語集
テストヘッド
英語表記：test head
被測定デバイスに印加するDUT電源、タイミングジェネレータ出力、パターンジェネレータ出力部及びデバイス出力を測定部に取込むための入力部から構成され、被測定デバイスを直接搭載し評価を行う部分。
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