半導体用語集
HFキット
英語表記：High Frequency kit
HFは高周波(High Frequency)を表わしているが，プローバ上にテスタのヘッド部分が搭載される場合のプローバの接続機構をいう。高周波測定を実現するため，テスタはテストヘッド内にドライバとコンパレータを搭載したピンエレクトロニクスボードをI/Oの数だけ揃え，プローブ針までのメジャリングケープルの長さを短くして測定する。通常，テストヘッドは30～150kg（最近は，多ピン化により，さらに大型化．重量化している）の重量があり，それをオペレータが操作しやすいようにコイルスプリングや，ガススプリング，カウンタバランス，あるいはエアーシリンダなどでテストヘッドの重量を軽減する機構である。
HFキットは，オペレータのテストヘッドを旋回させる時の負担を軽減させるものであるが，近年のテストヘッドの大型化に伴い， 自動で（ボタン一つで）旋回するタイプも出ている。
テスタの種類が変われば，基本的にはHFキットも変わるため，プローバ本体は同じでもテスタの種類によってその部分の形状は変わることになる。
また，他にマニュピュレータ方式といって，プローバ側にテストヘッド接続機構を持たせず，独立したメカ構造としてテストヘッドを支える方式もみられる。
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