半導体用語集
自動直径制御システム
英語表記：automatic diameter control system
結晶成長中の結晶直径を自動コントロールするシステム。直径を計測する方法として、結晶重量方式、放射温度計による光方式および結晶直径を直接ITVカメラで計測してコントロールする方式などがある。
関連製品
「自動直径制御システム」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「自動直径制御システム」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
