半導体用語集
機能水
英語表記：functional water
薬品を大量に使用するRCA洗浄液に対して、電解やガス溶存などの手段により洗浄液の機能性を高めることで、使用する薬品量を削減して作られる洗浄液の総称。電解イオン水、ガス溶存水、オゾン水などは機能水に含まれる。
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