半導体用語集
マイクロローディング効果 RIEラグ
英語表記：microloading effect RIE lag
穴の口径あるいは溝の縮小するに従いエッチング速度が低下する現象。多くの場合左記の2語は同義語として用いられるが、同一サイズのパターンが異なる密度で存在する時にエッチング速度が異なる現象をマイクロローディング効果ということもある。
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