半導体用語集
TIR
英語表記：Total Indicator Reading
ウェーハ面内における平坦度。ウェーハ裏面を真空吸着した状態で焦点面という基準面からのポジティブ（凸形状例）最大偏差aとネガティブ（凹型状例）最大偏差bの和で表される。マスク密着露光法あるいはプロキシミティ露光法などの等倍投影露光法を用いる時には、ウェーハ前面における焦点面からの平坦度が要求される。
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