半導体用語集
オーバハング
英語表記： overhang
素子におけるスルーホール等、段差部の縦横比（通常アスペクト比と呼ぶ）が大きい場合、下部底面より上部段差部角での膜厚が大きくなりヒサシを出したような形で膜形成されること。
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