半導体用語集
ピンチャック
英語表記：pin chuck
ウエーハを吸着保持するためのチャックで、ウエーハ裏面とチャック表面保持部分の接触面積が少なくなるように、ウエーハを保持する部分にピン状の突起を多数配列したチャック。
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