半導体用語集
同軸落射照明
英語表記：coaxial lighting
顕微鏡やカメラの観察対象物に対する照明方法。光学系軸と照明軸を同一軸にし、顕微鏡やカメラの対物レンズを通して対象物を照明し、反射光を観測する照明方法。
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