半導体用語集
アスペクト比
英語表記：aspect ratio
現像されたレジスト膜、又はエッチングでウェーハ上に形成されたパターンの深さと幅の比。
アスペクト比＝ｂ/ａ （ａ:エッチングの幅, b:エッチングの深さ）
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