半導体用語集

成長結晶最大直径

英語表記:growing crystal diameter

結晶製造装置で育成可能な最大直径。シリコン結晶では、装置に収容可能なるつぼ直径の1/2.5~1/3の結晶直系の成長を行うと、結晶歩留および結晶特性上良いとされている。


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