半導体用語集
ウェーハクーリング ステージ
英語表記：wafer cooling stage
半導体製造装置に組み込まれた高温のウェーハを冷却する部分。クーリングステーションとも呼ばれ、酸化・アニール装置やレジスト処理装置にも搭載されている。
関連製品
「ウェーハクーリング ステージ」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「ウェーハクーリング ステージ」に関連する用語が存在しません。
「ウェーハクーリング ステージ」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
