半導体用語集
マッチングユニット マッチングボックス マッチングネットワーク
英語表記：matching unit matching box matching network
プラズマ状態の変化にともない、放電中のインピーダンスが変動するので、チューニング回路を設けて印加した高周波出力に対して反射波が最も少なくなるようにインピーダンスを調整するユニット。高周波電極の近傍に配置される。
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